Lauerhaas, Jeffrey M.: шукати на сайті Z-Library

Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Найбільша колекція наукових статей у сіті. 70,000,000+ безкоштовних статей.

Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024

Z-Library - одна з найбільших онлайн-бібліотек у світі, в якій зберігається більше 17,000,000 книг та 84,837,000 статей. Ми намагаємось зробити літературу доступною кожному. Сьогодні (15 вересня 2024) ми відкриваємо додатковий збір пожертвувань на підтримку та розвиток проекту.

Також БЕЗЛІМТНІ завантаження (протягом 31 дня після завершення пожертвування) доступні для ВСІХ користувачів, які підтримають проект в період збору коштів до 1 жовтня 2024.

Про збір коштів Детальніше

Підтримати

Книги
Статті (15)
Найпопулярніші
Перелік
- Перелік
- Таблиця

1

Non-Contact Post Cu CMP Cleaning Using Megasonic Energy

Fyen, Wim, Lauerhaas, Jeffrey M., Vos, Ingrid, Meuris, Marc, Mertens, Paul W., Heyns, Marc M.

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2001

Файл:

PDF, 381 KB

2001

2

Selective Nitride Etching with Phosphoric and Sulfuric Acid Mixtures Using a Single-Wafer Wet Processor

Sih, Vincent, Reimer, Berthold, Ratkovich, Anthony S., Lauerhaas, Jeffrey M., Butterbaugh, Jeffery W.

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.92 MB

english, 2014

3

[IEEE 2019 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) - Shanghai, China (2019.3.18-2019.3.19)] 2019 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) - Cryogenic Nano-Aerosol: Particle Removal and Damage-Free Cleaning for IC Manufacturing

Lauerhaas, Jeffrey M., Thomes, Gregory P., Schwab, Brent D., Rathman, Christina Ann, Rotondaro, Antonio L. P., Bassett, Derek W., Butterbaugh, Jeffery W., Mbanaso, Chimaobi

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.44 MB

english, 2019

4

Reversible luminescence quenching of porous silicon by solvents

Lauerhaas, Jeffrey M., Credo, Grace M., Heinrich, Julie L., Sailor, Michael J.

Журнал:

Journal of the American Chemical Society

Рік:

1992

Мова:

english

Файл:

PDF, 289 KB

english, 1992

5

Photoluminescence Quenching of Porous Silicon

Fisher, Diana L., Gamboa, Aurilee, Harper, Jessica, Lauerhaas, Jeffrey M., Sailor, Michael J.

Журнал:

MRS Proceedings

Рік:

1994

Мова:

english

Файл:

PDF, 644 KB

english, 1994

6

Electrochemiluminescence from porous silicon in formic acid liquid-junction cells

Green, Will H., Lee, Eric J., Lauerhaas, Jeffrey M., Bitner, Theodore W., Sailor, Michael J.

Журнал:

Applied Physics Letters

Рік:

1995

Мова:

english

Файл:

PDF, 246 KB

english, 1995

7

[IEEE IEEE/SEMI Conference and Workshop on Advanced Semiconductor Manufacturing 2005. - Munich, Germany (11-12 April 2005)] IEEE/SEMI Conference and Workshop on Advanced Semiconductor Manufacturing 2005. - Advanced cryogenic aerosol cleaning: application to damagefree cleaning of sensitive structured wafers

Jeffrey M. Lauerhaas,, James F. Weygand,, Greg P. Thomes,

Рік:

2005

Мова:

english

Файл:

PDF, 532 KB

english, 2005

8

Megasonic, Non-Contact Cleaning Followed by 'Rotagoni' Drying of CMP Wafers

Lauerhaas, Jeffrey M., Mertens, Paul W., Nicolosi, Tom, Kenis, Karine, Fyen, Wim, Heyns, Marc M.

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2001

Файл:

PDF, 435 KB

2001

9

A Theoretical and Experimental Study of Damage-Free BEOL Cleaning with Megasonic Agitation

Lauerhaas, Jeffrey M., Wu, Yi, Bran, Mario, Fraser, Brian, Brause, Eric, Nicolosi, Tom

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2003

Файл:

PDF, 471 KB

2003

10

Preparation, Characterization, and Damage-Free Processing of Advanced Multiple-Gate FETs

Lauerhaas, Jeffrey M., Cleavelin, Rinn, Xiong, Wei Ze, Mochizuki, Koki, Sherman, Kara, Lee, Hu Cheng, Clappin, Brian, Schulz, Thomas, Schruefer, Klaus

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2008

Мова:

english

Файл:

PDF, 971 KB

english, 2008

11

Novel Wet Etching of Silicon Nitride in a Single Wafer Spin Processor

Yu, Bill, Huang, Stanley, Yeh, Matt, Chen, C.C., Jang, S.M., Ratkovich, Anthony, Yang, David, Lauerhaas, Jeffrey M., Butterbaugh, Jeffery W.

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 421 KB

english, 2012

12

Single Wafer Selective Silicon Nitride Removal with Phosphoric Acid and Steam

Guo, Ted, Yu, Wesley, Chien, C.C., Lin, Euing, Yang, N.H., Lin, J.F., Wu, J.Y., Ratkovich, Anthony, Kahaian, Don, Butterbaugh, Jeffery W., Lauerhaas, Jeffrey M.

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 508 KB

english, 2014

13

Reversible Luminescence Quenching of Porous Si by Solvents

Lauerhaas, Jeffrey M., Credo, Grace M., Heinrich, Julie L., Sailor, Michael J.

Журнал:

MRS Proceedings

Рік:

1991

Мова:

english

Файл:

PDF, 300 KB

english, 1991

14

The Effects of Halogen Exposure on the Photoluminescence of Porous Silicon

Lauerhaas, Jeffrey M., Sailor, Michael J.

Журнал:

MRS Proceedings

Рік:

1993

Мова:

english

Файл:

PDF, 231 KB

english, 1993

15

[IEEE 2019 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) - Shanghai, China (2019.3.18-2019.3.19)] 2019 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) - Cryogenic Nano-Aerosol: Particle Removal and Damage-Free Cleaning for IC Manufacturing

Lauerhaas, Jeffrey M., Thomes, Gregory P., Schwab, Brent D., Rathman, Christina Ann, Rotondaro, Antonio L. P., Bassett, Derek W., Butterbaugh, Jeffery W., Mbanaso, Chimaobi

Рік:

2019

Файл:

PDF, 1.44 MB

2019